金属材料基礎講座-197

検出器

　分光システムの最後に検出器がセットされ光を検出します。検出器には大きく光電子倍増管と半導体検出器の2種類があります。シーケンシャルタイプには光電子倍増管、マルチチャンネルタイプには半導体検出器が使用されます。

　光電子倍増管は光電効果により、電気信号に変換して検出します。入射光を光電陰極に照射して電子を放出させます。これを光電子倍増陽極によって増加させていきます。半導体検出器よりも感度は良いとされます。

　半導体検出器はCCDやCIDなどの光電子変換素子が使用されています。光を2次元のマップとしてリアルタイムに検出できるので、エシェル型分光器のように多元素同時測定ができます。半導体検出器に光が入射されると光の強さに応じた電荷が蓄えられます。これが運ばれて電気信号に変換されます。

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